Atominių sluoksnių nusodinimo sistema (ALD) Nr. 4187/2026/FF (rinkos konsultacija)

TEDAS Jūsų pirkimų asistentas

Užduokite klausimą apie šį pirkimą

t

Štai svarbiausia informacija tiekėjui dėl Vilniaus universiteto rinkos konsultacijos:

Pirkimo objektas

  • Kas perkama: Atominių sluoksnių nusodinimo sistema (ALD), įskaitant pristatymą, montavimą, prijungimą, paleidimą ir naudotojų mokymus. Pirkimo objektas į dalis neskaidomas.
  • Pagrindiniai techniniai reikalavimai:
    • Sistema turi veikti terminio ALD (thermal ALD) režimu.
    • Turi būti tinkama AlOx, SiOx ir HfOx sluoksnių nusodinimui.
    • Įranga turi būti nauja ir nenaudota.
    • Reaktorius turi turėti dušo galvutės tipo (arba lygiavertę) dujų tiekimo sistemą…
       
      Norėdami matyti visą santrauką, prašome prisijungti arba registruotis.
t

👋 Sveiki! Aš esu TEDAS – tavo pirkimų asistentas 💼✨

Ką norėtumėte sužinoti apie šį pirkimą?

Pastaba: Tai – preliminari informacija. Tikslumui užtikrinti būtina peržiūrėti visus pirkimo dokumentus.
Užduokite savo klausimus čia...

Priedas Nr. 1 Techninė specifikacija.docx

Priedas nr. 3_prekių sutarties specialiosios sąlygos.docx

Rinkos konsultacijos kvietimas ir klausimynas.docx

Pasiruošę pradėti?

Prenumeruokite ir naudokitės visais privalumais kasdien!